เทคโนโลยี Excimer ถูกนำไปใช้ในภาคอุตสาหกรรมต่าง ๆ และหลากหลายประเภท คำว่า Excimer ย่อมาจาก "excited dimer" อีกนัยหนึ่งคือ ไดเมอร์ (เช่น ก๊าซ Xe-Xe-, Kr-Cl) ซึ่งถูกกระตุ้นด้วยสถานะพลังงานที่สูงขึ้นภายหลังการเพิ่มแรงดันไฟฟ้ากระแสสลับ กระบวนการนี้จะแยกอิเล็กโทรดอย่างน้อยหนึ่งอิเล็กโทรดออกจากก๊าซไดเมอร์ทางกายภาพโดยใช้ชั้นฉนวนขวางกั้น (แก้วควอตซ์สังเคราะห์) โดยแก้วควอทซ์สังเคราะห์สามารถส่งผ่านแสงยูวีได้ แม้ที่ความยาวคลื่นต่ำกว่า 200 นาโนเมตร ทั้งนี้ เพื่อแก้ปัญหาการดูดซึมของออกซิเจนในอากาศ กระบวนการนี้จึงเกิดขึ้นในบรรยากาศเฉื่อยซึ่งใช้ไนโตรเจน
การฉายลำแสงเอกซ์ไซเมอร์คลื่นสั้นใส่สารเคลือบผิวจะทำให้เกิดปฏิกิริยาการสังเคราะห์พอลิเมอร์ที่ชั้นบนสุด ซึ่งจะก่อตัวเป็นฟิล์มบาง ๆ ที่แข็งตัวบนพื้นผิว นอกจากนี้ ปฏิกิริยาการสังเคราะห์พอลิเมอร์ยังส่งผลให้เกิดการหดตัว ฟิล์มที่อยู่ชิดกับพื้นผิวจะเกิดรอยพับขนาดเล็กมาก ๆ ซึ่งทำให้เกิดพื้นผิวด้าน ดังนั้น ในสูตรจึงไม่จำเป็นต้องใช้สารลดความมัน จากนั้นหลอดยูวีความดันปานกลางแบบธรรมดาจะอบสารเคลือบผิวในขั้นสุดท้าย
ขอบเขตการใช้งาน : การผลิตแผงจอแสดงผล การผลิตแผงสัมผัส การผลิตแผ่นเวเฟอร์
โอโซนก่อตัวที่ความยาวคลื่นต่ำกว่า 242 นาโนเมตร เมื่อถึงตอนนั้น ค่าพลังงานเทียบเท่าแสงจะถึงค่าที่สามารถแยกโมเลกุลออกซิเจน (O2) ออกเป็นอะตอมออกซิเจน (O) ได้ โดยโอโซน (O3) จะก่อตัวขึ้นเมื่ออะตอมออกซิเจนทำปฏิกิริยากับโมเลกุลออกซิเจน ความยาวคลื่น 172 นาโนเมตร และการแผ่รังสีพลังงานสูงที่เกี่ยวข้องทำให้เอกซ์ไซเมอร์กลายเป็น "เครื่องกำเนิดโอโซน" ชั้นดี
ความเสียหายต่อดีเอ็นเอเกิดขึ้นที่ความยาวคลื่นสูงสุด 280 นาโนเมตร ซึ่งช่วยป้องกันไม่ให้แบคทีเรียและไวรัสเพิ่มจำนวน โอโซนมีประสิทธิภาพระดับสูงในช่วง 254 นาโนเมตร แต่จะดูดซับความยาวคลื่นที่สอดคล้องกันจากหลอดแสงจันทร์ความดันปานกลาง ขอบเขตการใช้งาน : สารฟอกขาวในอุตสาหกรรมสิ่งทอและวัสดุโฟม การฆ่าเชื้อในน้ำและอากาศ
