La technologie Excimer est utilisée dans de nombreux secteurs industriels et pour une grande variété d’applications.
Excimer est l’abréviation de l'anglais « excited dimer », ce qui signifie qu’un dimer (Xe-Xe, Kr-Cl) est excité et passe dans un état énergétique supérieur lorsque l’on lui applique une tension alternative. Ce procédé nécessite qu’au moins une des électrodes soit physiquement séparée du dimer en la recouvrant d’une fine couche d’un matériau diélectrique (verre de quartz synthétique). Le verre de quartz synthétique laisse passer la lumière UV même avec des longueurs d'ondes inférieures à 200 nm.
Cependant, pour éviter l'absorption de la lumière UV à faible longueur d'onde par l'oxygène de l'air, l'opération est réalisée sous atmosphère inerte. On utilise pour cela de l'azote.
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Le rayonnement UV provenant de l'Excimer est un rayonnement à ondes courtes très énergétiques, ce rayonnement vient réagir avec les quelques premiers nanomètres d'épaisseur du revêtement. La polymérisation UV entraînant une contraction du matériau, la couche proche de la surface voit se développer des micro-plis qui ont pour effet de rendre la surface mate. Ce procédé permet de s'affranchir des agents mattant.
L'Excimer ne réagissant qu'avec la couche supérieur du revêtement il est toujours nécessaire d'utiliser ensuite des systèmes UV ou UV LED pour venir sécher complétement le matériau.
Les procédés de nettoyage par rayonnement UV sont également très importants dans l’industrie des fabricants d’écran et de semi-conducteurs. La lumière UV à très courte longueur d'onde (avec un pic spectral à 172 nm) est utilisée dans l’oxydation des substances organiques. Suite à la production supplémentaire d'ozone, ces polluants sont oxydés en dioxyde de carbone et en eau, ce qui a donc pour effet de nettoyer la surface. La modification des surfaces augmente donc la tension de surface et garantit ainsi une meilleure mouillabilité. La mouillabilité est mesurée via l'angle de contact. Un effet significatif est alors obtenu avec des longueurs d'ondes inférieures à 200 nm.
Applications : Fabrication d’écrans d’affichage, d’écrans tactiles, de wafers
L'ozone résulte de longueurs d'ondes inférieures à 242 nm. La valeur énergétique de l'équivalent de lumière a alors atteint une valeur permettant de dissocier les molécules d'oxygènes (O2) en atomes d'oxygène (O). La réaction de deux atomes d'oxygène avec un autre atome d'oxygène entraîne alors la formation d'ozone (O3). En raison de la longueur d'onde de 172 nm et du rayonnement riche en énergie qui y est associé, un rayonnement Excimer est un bon "générateur d'ozone".
Des lésions de l'ADN surviennent jusqu'à des longueurs d'ondes de 280 nm. Ayant leur ADN endommagé, les virus et bactéries ne peuvent plus se reproduire. L’efficacité maximale est atteinte pour des longueurs d'ondes autour de 254 nm, mais l'ozone absorbe les longueurs d'ondes correspondantes pour des lampes halogènes moyenne pression. Applications : Blanchiment pour l’industrie du textile et de la pâte à papier. Décontamination de l’eau et de l’air.
