Die Excimer-Technologie wird in vielen Industriesektoren und Anwendungen eingesetzt. Excimer steht für "excited dimer", das heißt, dass ein Dimer (z. B. Xe-Xe-, Kr-Cl-Gas) nach Anlegen einer Wechselspannung zu einem höheren Energiezustand angeregt (=excited) wird. Dabei ist mindestens eine der Elektroden von dem Dimer-Gas durch eine dielektrische Sperrschicht (synthetisches Quarzglas) physikalisch getrennt. Das synthetische Quarzglas ermöglicht die Transmission von UV-Licht auch mit Wellenlängen unter 200 nm. Um die Absorption durch den Luftsauerstoff zu umgehen, erfolgt der Betrieb in inerter Atmosphäre. Hierzu wird Stickstoff verwendet.
Unsere angereihten Excimer-Systeme ermöglichen eine Mattierung von bis zu 4 Metern Breite mit einer Leistung von 5 W/cm, auch für größere Breiten. Das System garantiert eine streifenfreie Mattierung ohne sichtbare Unterschiede und sorgt für ein gleichmäßiges Finish. Es zeichnet sich durch einen niedrigen Stickstoffverbrauch und eine homogene Stickstoffverteilung aus. Unsere Excimerlampe bietet 5 W/cm selbst bei Lampenlängen über 2.000 mm. Die geschützte äußere Elektrode ermöglicht eine sichere Reinigung, und die Edelstahlelektrode verhindert Vergrauen im Inneren, was die Lebensdauer um den Faktor 2 erhöht. Zudem gewährleistet die permanente Ozonreinigung eine hohe Leistung.
In der Bodenbelagsindustrie schafft dies neue Möglichkeiten für eine effiziente und gleichmäßige Oberflächenveredelung und setzt dabei neue Maßstäbe in der Verarbeitung großflächiger Bodenbeläge.
Die Bestrahlung von Oberflächenbeschichtungen mit kurzwelligen Excimerstrahlen führt zu einer Polymerisation in der obersten Schicht des Lackes. Auf der Oberfläche bildet sich ein dünner gehärteter Film. Da die Polymerisation zudem eine Schrumpfung bewirkt, weist der oberflächennahe Film Mikro-Faltungen auf, wodurch eine matte Oberfläche entsteht. Die Formulierung kann damit auf Mattierungsmittel verzichten. Die Tiefenhärtung der Beschichtung erfolgt nachgeschaltet mit konventionellen UV-Mitteldrucklampen.
UV-Reinigungsverfahren spielen eine wichtige Rolle in der Display- und Halbleiterbranche. UV-Licht mit sehr kurzer Wellenlänge (Höchstwert 172 nm) wird zum Aufbrechen der Verbindungen organischer Substanzen eingesetzt. Durch die zusätzliche Erzeugung von Ozon werden diese Verunreinigungsstoffe zu Kohlendioxid und Wasser oxidiert. Das Ergebnis ist eine saubere Oberfläche.
Die Modifizierung von Oberflächen dient der Verbesserung der Oberflächenspannung für eine bessere Benetzbarkeit. Die Benetzbarkeit wird über den Kontaktwinkel gemessen. Eine signifikante Wirkung wird mit Wellenlängen unter 200 nm erreicht.
Einsatzgebiete: Display-Panelherstellung, Touch-Panelherstellung, Waferproduktion
Ozon entsteht bei Wellenlängen unterhalb 242 nm. Der Energiewert des Lichtäquivalents hat dann einen Wert erreicht, um die Sauerstoffmoleküle (O2) in Sauerstoffatome (O) aufzuspalten. Reagieren die Sauerstoffatome mit einem Sauerstoffmolekül, so entsteht Ozon (O3). Aufgrund der Wellenlänge von 172 nm und der damit verbundenen energiereichen Strahlung ist ein Excimer ein guter „Ozongenerator“.
Eine Schädigung der DNA findet bis zu Wellenlängen von 280 nm statt. Dann können sich Bakterien und Viren nicht mehr vermehren. Im Bereich von 254 nm ist eine hohe Effektivität gegeben, jedoch absorbiert Ozon die entsprechenden Wellenlängen der Hg-Mitteldrucklampen. Einsatzgebiete: Bleichmittel in der Textil- und Zellstoffindustrie, Desinfektion von Wasser und Luft.
