La tecnología Excimer se utiliza en muchos sectores industriales y en muchas aplicaciones. Excimer significa "dímero excitado", en otras palabras, un dímero (por ejemplo, gas Xe-Xe-, Kr-Cl) que se estimula a un estado de mayor energía después de la aplicación de un voltaje alterno. Este proceso separa físicamente al menos uno de los electrodos del gas dímero por medio de una capa de barrera dieléctrica (vidrio de cuarzo sintético). El cristal de cuarzo sintético permite la transmisión de luz UV, incluso a longitudes de onda por debajo de 200 nm. Para evitar el problema de la absorción del oxígeno en el aire, el proceso se lleva a cabo en una atmósfera inerte que utiliza nitrógeno.
La irradiación de recubrimientos de las superficies con haces de excímeros de onda corta polimeriza la capa superior, formando una película fina y curada en la superficie. Como la polimerización también provoca encogimiento, la película, cerca de la superficie, exhibe micropliegues que crean una superficie mate. Como consecuencia, la formulación no necesita incluir agentes matificantes. El recubrimiento se cura a continuación en la última etapa mediante lámparas UV de presión media convencionales
Los métodos de limpieza UV desempeñan un papel clave en el sector de expositores y semiconducción. La luz ultravioleta de longitud de onda muy corta (valor máximo 172 nm) se utiliza para romper los enlaces en sustancias orgánicas. La generación adicional de ozono oxida estos contaminantes en dióxido de carbono y agua. El resultado es una superficie limpia.
Ámbitos de aplicación: producción de panel de visualización, producción de panel táctil, producción de obleas
El ozono se forma a longitudes de onda por debajo de 242 nm. Para entonces, el valor de energía del equivalente de luz ha alcanzado un valor capaz de dividir la molécula de oxígeno (O2) en átomos de oxígeno (O). Si los átomos de oxígeno reaccionan con una molécula de oxígeno, se forma el ozono (O3). Su longitud de onda de 172 nm y la radiación de alta energía asociada hacen de un excímero un buen "generador de ozono".
El daño al ADN ocurre a longitudes de onda de hasta 280 nm. Esto evita que las bacterias y los virus se multipliquen. Hay un alto grado de efectividad en el rango de 254 nm, pero el ozono absorbe las longitudes de onda correspondientes de las lámparas de Hg de presión media. Esferas de aplicación: blanqueadores en las industrias textiles y de materiales de espuma, desinfección de aqua y aire.