UV-Messgeräte erlauben die Erfassung des Maximalwertes der Bestrahlungsstärke (Peak) und in Abhängigkeit der Geschwindigkeit die Ermittlung der Dosis. Die Dosis ist damit zeitabhängig und wird in mJ/cm² angegeben, während der Peak in mW/cm² angegeben wird.
Es stehen Messgeräte zur Vermessung von Excimer, UV-Lampe und LED zur Verfügung.